Me ka hoʻomohala wikiwiki ʻana o 5G, artificial intelligence (AI) a me ka Internet of Things (IoT), ua piʻi nui ka noi no nā mea hana kiʻekiʻe i ka ʻoihana semiconductor.Zirconium tetrachloride (ZrCl₄), ma ke ʻano he mea semiconductor koʻikoʻi, ua lilo ia i mea waiwai pono no nā ʻāpana kaʻina holomua (e like me 3nm / 2nm) ma muli o kāna kuleana nui i ka hoʻomākaukau ʻana i nā kiʻiʻoniʻoni kiʻekiʻe.
Zirconium tetrachloride a me nā kiʻiʻoniʻoni kiʻekiʻe-k
I ka hana semiconductor, ʻo nā kiʻiʻoniʻoni kiʻekiʻe kekahi o nā mea koʻikoʻi no ka hoʻomaikaʻi ʻana i ka hana chip. E like me ke kaʻina hana o ka emi mau ʻana o nā mea dielectric gate maʻamau maʻamau (e like me SiO₂), ua hoʻokokoke ko lākou mānoanoa i ka palena kino, e hoʻonui ai i ka leakage a me ka piʻi nui o ka hoʻohana mana. Hiki i nā mea kiʻekiʻe-k (e like me ka zirconium oxide, hafnium oxide, a me nā mea'ē aʻe) hiki ke hoʻonui i ka mānoanoa kino o ka papa dielectric, e hoʻemi i ka hopena tunneling, a pēlā e hoʻonui ai i ka paʻa a me ka hana o nā mea uila.
ʻO Zirconium tetrachloride kahi mea mua nui no ka hoʻomākaukau ʻana i nā kiʻiʻoniʻoni kiʻekiʻe-k. Hiki ke hoʻololi ʻia ʻo Zirconium tetrachloride i nā kiʻiʻoniʻoni zirconium oxide maʻemaʻe kiʻekiʻe ma o nā kaʻina hana e like me ka chemical vapor deposition (CVD) a i ʻole atomic layer deposition (ALD). Loaʻa i kēia mau kiʻiʻoniʻoni nā waiwai dielectric maikaʻi loa a hiki ke hoʻomaikaʻi nui i ka hana a me ka pono o ka ikehu o nā chips. No ka laʻana, ua hoʻokomo ʻo TSMC i nā ʻano mea hou a me ka hoʻomaikaʻi ʻana i ke kaʻina hana i kāna kaʻina 2nm, me ka hoʻohana ʻana i nā kiʻi ʻoniʻoni mau dielectric kiʻekiʻe, i loaʻa i ka piʻi ʻana o ka transistor density a me ka hoʻemi ʻana i ka hoʻohana mana.
ʻO ke ao holoʻokoʻa hoʻolako Chain Dynamics
I loko o ke ao holoʻokoʻa semiconductor lako kaulahao, ka lako a me ka hana kumu ozirconium tetrachloridehe mea koʻikoʻi i ka hoʻomohala ʻana i ka ʻoihana. I kēia manawa, noho nā ʻāina a me nā ʻāina e like me Kina, ʻAmelika Hui Pū ʻIa a me Iapana i kahi kūlana koʻikoʻi i ka hana ʻana o ka zirconium tetrachloride a me nā mea pili i ka dielectric mau.
Nā holomua ʻenehana a me nā mea e hiki mai ana
ʻO nā mea hoʻomohala ʻenehana ke kumu nui i ka hoʻolaha ʻana i ka noi o ka zirconium tetrachloride i ka ʻoihana semiconductor. I kēia mau makahiki i hala iho nei, ua lilo ke kaʻina hana hoʻoheheʻe atomic layer deposition (ALD) i wahi hotspot noiʻi. Hiki i ke kaʻina hana ALD ke hoʻomalu pono i ka mānoanoa a me ke kūlike o ke kiʻi ma ka nanoscale, a laila e hoʻomaikaʻi ai i ka maikaʻi o nā kiʻi ʻoniʻoni mau dielectric kiʻekiʻe. No ka laʻana, ua hoʻomākaukau ka hui noiʻi o Liu Lei o ke Kulanui o Peking i kahi kiʻiʻoniʻoni amorphous mau dielectric kiʻekiʻe ma ke ʻano kemika pulu a hoʻohana pono ʻia i nā mea uila semiconductor ʻelua.
Eia kekahi, ke hoʻomau nei nā kaʻina hana semiconductor i nā liʻiliʻi liʻiliʻi, e hoʻonui pū ana ka hoʻohana ʻana o ka zirconium tetrachloride. No ka laʻana, hoʻolālā ʻo TSMC e hoʻokō i ka hana nui o ka ʻenehana 2nm i ka hapa lua o 2025, a ke hoʻoikaika ikaika nei ʻo Samsung i ka noiʻi a me ka hoʻomohala ʻana i kāna kaʻina hana 2nm. ʻAʻole hiki ke hoʻokaʻawale ʻia ka ʻike ʻana o kēia mau kaʻina holomua mai ke kākoʻo ʻana o nā kiʻi ʻoniʻoni mau kiʻekiʻe-dielectric, a me ka zirconium tetrachloride, ma ke ʻano he kī kī, he mea nui ia.
I ka hōʻuluʻulu ʻana, ʻo ka hana nui o ka zirconium tetrachloride i ka ʻoihana semiconductor e ulu nui ana. Me ka hoʻolaha ʻana o 5G, AI a me ka Pūnaewele o nā Mea, ke hoʻomau nei ka piʻi ʻana o ka noi no nā chips kiʻekiʻe. ʻO Zirconium tetrachloride, ma ke ʻano he mea koʻikoʻi o nā kiʻi ʻoniʻoni mau kiʻekiʻe-dielectric, e pāʻani i kahi hana hiki ʻole ke hoʻololi i ka hoʻomohala ʻana o ka ʻenehana chip hou. I ka wā e hiki mai ana, me ka hoʻomau mau ʻana o ka ʻenehana a me ka optimization o ke kaulahao lako honua, e ʻoi aku ka laulā o nā manaʻo noi o zirconium tetrachloride.
Ka manawa hoʻouna: Apr-14-2025